Vibrierender Motor im Leerlauf

Hallo Freunde,
ich bin echt am Verzweifeln! Mein e36 325i M50 mit Vanos vibriert auf einmal im Leerlauf. Habe daraufhin Lambdasonde und Kerzen wechseln lassen. Hardyscheibe ist auch neu. Motorlager kann ich eigentlich susschließen, weil er das nicht immer macht. Wenn man im Leerlauf in den Motorraum guckt, ist auch ein deutliches Vibrieren des Motors erkennbar.
Kann mir einer von euch helfen?