Ist es immer, oder nur ab und zu? Im Schlimmsten Fall hat deine VANOS einen weg. Dann wird im Fehlerspeicher: "VANOS mechanisches Klemmen" stehen. War bei mir zumindest so. Meiner lief nicht wirklich schwankend unrund, sondern polterte bei 500-600 U/min vor sich hin und das hörte sich auch so an, als ob er nur auf 5 Zylindern lief. Lass also erstmal den Fehlerspeicher auslesen. Luftmassenmesser und Leerlaufregelventil hast du ja schon überprüft. Sind auch die 2 Sachen die glaube nicht dort abgelegt werden.